高纯气是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的专业学科，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。高纯气包括：高纯H2, O2, N2, CO, CO2等永久性气体；高纯He, Ne, Ar, Kr, Xe,等稀有气体；高纯Cl2, H2S, NH3, PH3, SiH4等特种气体。随着我国◤经济的高速发展，石油化工生产，半导体工业，环境分析和科学研究等对高纯气不仅◣在数量上、质量上、种类上都不断提出新的要求，气体纯度越来越高。

气相色谱脉冲氦离子化检测器PDHID，灵敏度高，性能稳定，其能放出高能光子能量(17.7eV)，为通用型检测器，是检测分析痕量气体的利器。公司自成立以来，一直积极应对石化、高纯气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。

图1 PDHID检测器分析高纯氩气中微量杂质

图2 PDHID检测器分析高纯氦气中微量杂质5ppm（Ne 检测限0.02ppm）